DSR300微納器件光譜響應(yīng)度測(cè)試系統(tǒng)是一款專用于低微材料光電測(cè)試的系統(tǒng)。其功能全面，提供多種重要參數(shù)測(cè)試。系統(tǒng)集成高精度光譜掃描，光電流掃描以及光響應(yīng)速率測(cè)試。40μm探測(cè)光斑，實(shí)現(xiàn)百微米級(jí)探測(cè)器的絕對(duì)光譜祥響應(yīng)度測(cè)量。超高穩(wěn)定性光源支持長時(shí)間的連續(xù)測(cè)試，豐富的光源選擇以及多層光學(xué)光路設(shè)計(jì)可擴(kuò)展多路光源，例如超連續(xù)白光激光器，皮秒脈沖激光器，半導(dǎo)體激光器，鹵素?zé)?，氙燈等，滿足不同探測(cè)器測(cè)試功能的要求，是微納器件研究的優(yōu)選。
DSR300微納器件光譜響應(yīng)度測(cè)試系統(tǒng)功能：
■ 光譜響應(yīng)度
■ 外量子效率
■ 單色光/變功率IV
■ 不同輻照度IT曲線（分辨率200ms）
■ 不同偏壓下的IT曲線
■ LBIC，Mapping
■ 線性度測(cè)試
■ 響應(yīng)速率測(cè)試
DSR300微納器件光譜響應(yīng)度測(cè)試系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)：
三維可調(diào)高穩(wěn)定探針臺(tái)結(jié)構(gòu)，方便樣品位置調(diào)節(jié)
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